3、测头
◆ 点到点触发测头
特征： 应用广泛的触发式电子测头，可完成快速和重复性的测量任务。使用寿命长，精确高，便于使用，成本相对较低，测量空间局限性小。 适于三维箱体类工件的测量。
◆ 可分度更换扫描测头
特征：高精度快速扫描测头，通过获取大量的数据点，完成对箱体类零件和轮廓曲面的可靠测量。可安装于分度式测座，并可与其他测头进行互换。用于几何元素、复杂形状和轮廓的测量，对诸如尺寸、位置和形状等几何特征进行完整的描述。
◆ 固定式扫描测头
特征：极高精度的扫描测座，可向测量机发送连续的数据信息。被安装于测量机Z 轴上，并可配置较长的加长杆以完成较深特征元素的测量工作。检测精度高，广泛用于检测形状误差、复杂几何形状和轮廓外形，包括尺寸、位置和形状。
◆ 非接触光学测头
特征：利用判断阴影及反光在光电器件上生成的特性类型(轮廓的灰度值)，人工对准或自动发出锁存信号，锁存垂直于光轴方向的两维坐标。完成对小的尺寸特征的放大测量，尤其是在大的工件上面具备小的测量特征时。
◆ 非接触激光扫描测头
特征：非接触激光扫描测头，利用三角测量法，垂直于测头方向的两维坐标由测量机的坐标系给出，光轴方向尺寸由三角形原理由测量机探测轴的位置给出，能够在短时间获取工件表面的大量数据点云。
应用：不仅可以完成数字化测量，实现逆向工程的应用，还可以完成复杂几何形状和要素的CAD比对测量与分析。
4、探针
安装在测头上，并接触被测量元件，典型结构为测杆＋红宝石球。不同形状和规格，确保测头不受限制的对工件所有特征元素进行测量。
5 、附件
◆ 加长杆：探针的辅助测量，具有测量较深位置特征的能力。
◆ 更换架：可对测量机测座上的测头/加长杆/探针组合进行快速、可重复的更换，在同一的测量系统下对不同的工件进行完全自动化的检测。